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日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀

日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀

產品型號: MS-500

所屬分類:氧氣

產品時間:2024-09-06

簡要描述:日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500
多可同時測量8個點
濃度顯示范圍很廣,從ppm到100%。
非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進一步提高耐用性

詳細說明:

日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500

 

氧氣分析儀MS-500

  • 多可同時測量8個點
  • 濃度顯示范圍很廣,從ppm到100%。
  • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
  • 傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
  • 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進一步提高耐用性

日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500

MS-500設備規(guī)格

測量原理氧化鋯濃縮池類型
形狀分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm
自動量程
重復性在±0.5%FS 0-1%范圍內或更高
±1%FS或±
0.1ppm中,以較大者為準小于0-1%范圍0-1ppm,atm范圍超出保證的濃度范圍
測量點數(shù)1?8
樣氣條件壓力10 -3至200 KPa(壓力)
流量0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自發(fā)擴散狀態(tài)的測量)
濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-100°攝氏度
其他請勿包含腐蝕性氣體(氟氣,氯氣,硫化物氣等),含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣大氣層
記錄儀輸出僅變速箱輸出
變速箱輸出RS-232C
報警輸出沒有
熱身時間6分鐘以內
尺寸MS-500(控制器)92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起)
MS-510(轉換器)100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起)
傳感器單元SD16NW總長100mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
SD25NW總長100 mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
SD40NW總長100mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
大眾MS-500(控制器)約0.6Kg
MS-510(轉換器)約0.5kg
傳感器單元SD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
使用電源24VDC±10%


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