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Profilm3D 3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)介紹

發(fā)布時(shí)間:2021-10-11 點(diǎn)擊量:1403

Profilm3D 3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)介紹

它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng),可以無(wú)接觸地測(cè)量包括臺(tái)階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測(cè)量小樣品,涵蓋了測(cè)量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測(cè)量模式,包括適合高精度測(cè)量微米級(jí)臺(tái)階和形狀的垂直掃描干涉測(cè)量法 (WLI) 和適合測(cè)量納米級(jí)形狀和粗糙度的相移干涉測(cè)量法 (PSI)。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備,包括用于放大物鏡的左輪鏡頭
、自動(dòng)載物臺(tái)以及便于操作、分析和管理測(cè)量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點(diǎn)

  • 低價(jià)!
    在配備所有必要功能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)低價(jià)

  • 納米級(jí)高分辨率
    采用相移干涉法實(shí)現(xiàn)高分辨率

  • 全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
    XY自動(dòng)載物臺(tái),手動(dòng)左輪,自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié),自動(dòng)對(duì)焦功能

  • 緊湊的外殼
    主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計(jì)。

  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測(cè)量模式 一臺(tái)設(shè)備即可
    測(cè)量臺(tái)階測(cè)量和粗糙度測(cè)量

  • 操作
    簡(jiǎn)單 基本操作只是簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)操作

  • 符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量符合
    國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO25178

  • 可擴(kuò)展性
    多種物鏡選擇,數(shù)據(jù)拼接功能

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
安裝板銅線、凸點(diǎn)、透鏡等

測(cè)量規(guī)格

 

 垂直掃描白光干涉測(cè)量法 (WLI)相移干涉測(cè)量 (PSI)
測(cè)量范圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
準(zhǔn)確性0.7%——
再現(xiàn)性0.1%——
反射范圍0.05% – 100%0.05% – 100%

 

設(shè)備規(guī)格

XY自動(dòng)載物臺(tái)100mm x 100mm
Z軸驅(qū)動(dòng)范圍100mm
壓電驅(qū)動(dòng)范圍500微米
掃描速度12微米/秒
相機(jī)2592 x 1944(500 萬(wàn)像素)
體重15公斤

 

物鏡規(guī)格

 5次 10倍20次50次 百倍
視野4.0 x 3.4 毫米 2.0 x 1.7 毫米1.0 x 0.85mm0.4 x 0.34mm 0.2 x 0.17mm
鏡頭分辨率 2.1微米0.92微米 0.69 微米 0.5微米 0.4微米 



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